| 晶圓檢測儀，多晶硅缺陷分析儀，太陽能硅板檢測儀，太陽能光伏單晶硅片缺陷分析 |
| 一：蔡康晶圓檢測儀，多晶硅缺陷分析儀，太陽能硅板檢測儀DJM-200C概述和硅片缺陷檢測方法和應用范圍： |
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（一）光伏硅片質量檢測中，有很多項目，比如：破片、缺角、孔洞和翹曲等等。為什么會有這些檢測項目，有些項目很容易理解，比如：破片、缺角等不僅會影響賣相，還會造成后續電池片生產的問題，甚至影響轉換效率。但孔洞，尤其是很小很小的孔洞，似乎沒什么大不了。其實不然，新的研究表明，小小的孔會造成大大的問題。就好像千里之堤，毀于蟻穴。 1.孔洞：大量存在，3～10um，人眼不易發現。必須用背光源。 孔洞的危害：經研究發現，硅晶片上孔洞會造成加工成電池片的短路，降低電池片的轉換效率；如果因為硅片上的孔洞形成的短路塊剛好落在柵線上，就會造成大面積的短路，加大電池片的漏電流，影響轉換效率。所以必須檢測孔洞，一般人眼能分辨0.3mm以上的孔洞，0.003～0.01mm的孔洞只能借助與光學的檢測手段來實現。檢測時需采用高亮度的白色背光源，穿透力強的光經過孔洞后，部分頻率的分量會使相機感光，形成藍綠色的成像。相機的像素分辨率需要做得很高，比如一個像素等于0.005mm，這樣有機會捕捉到3um～10um孔透過的光，并由軟件識別。 2.硅片翹曲或彎曲：不能忽視。硅片翹曲不僅使得做成電池片后尺寸不合乎要求，而且還會造成斷柵。 研究表明：因為硅片翹曲，做成電池片后，通過EL檢測，發現里面有絲狀裂紋或花斑，但做成模組后，花斑情況有改善。分析表明，因為電池片翹曲（根源上是硅片翹曲），在絲印時會造成印刷不均勻，形成斷柵。 硅片的翹曲需要采用3D的檢測方法，具體表征硅片翹曲的指標有TTV、MTV等等。檢測的方法可以采用將結構光（線激光）投射到硅片上，用相機進行拍照；通過軟件分析光線成像的幾何特征，可以計算出TTV、MTV等指標，跟標準值進行比對，可以得出硅片翹曲是否在可以接受的范圍。 以上兩點，是新的研究發現。如果檢測不到位，“后果很嚴重”。電池片廠家在來料檢測上，不可不注意。 產品介紹： 蔡康晶圓硅片缺陷觀測儀（DJM-200C），于對硅片的缺陷進行觀察，效果非常明顯，包括肉眼無法觀測的位錯、層錯、劃痕、崩邊等。 實時對圖像進行分析、測量和統計，提高傳統光學儀器的使用內涵。配合投影儀和計算機等顯示、存儲設備，能更好的觀測和保存研究結果； 硅片缺陷觀測儀-產品特點 ■適用于對硅片的缺陷觀察效果，非常明顯，包括肉眼無法觀測的位錯、層錯、劃痕、崩邊等； ■使硅片缺陷觀察工作簡單化，準確化，同時降低此項工作強度； ■實時對圖像進行分析、測量和統計，提高傳統光學儀器的使用內涵。配合投影儀和計算機等顯示、存儲設備，能更好的觀測和保存研究結果； ■使用 數字CCD攝像機 感光芯片，具有體積小，技術先進，像素較高，成像清晰、線條細膩、色彩豐富； ■傳輸接口為 USB2.0高速接口，軟件模塊化設計； ■有效分辨率為 1000萬像素； ■所配軟件能兼容 windows7/8/10 操作系統。 |
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（三）蔡康太陽能光伏單晶硅片缺陷分析儀技術介紹和儀器組成
一、大平臺太陽能硅片缺陷分析金相顯微鏡儀器的主要用途和特點 |
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太陽能光伏單晶硅片缺陷分析儀DJM-200C
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