特種行業專用檢測儀

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AWL系列晶圓檢查系統_晶圓搬運_國產晶圓搬送機

全新半導體工業檢測產品——AWL系列晶圓檢查系統,兼具穩定性和安全性,能夠安全可靠的傳送晶圓,適合于前道到后道工程的晶圓檢查。

詳細介紹 技術參數

全新半導體工業檢測產品——AWL系列晶圓檢查系統,兼具穩定性和安全性,能夠安全可靠的傳送晶圓,適合于前道到后道工程的晶圓檢查。
◆ 一個晶圓在經過一系列復雜工序后最終變成多個IC單元,期間晶圓需要依賴晶圓搬運機在處理站之間執行快速、精確的傳送作業。納米級厚度的晶圓很容易在傳送過程中損壞,而且還須確保在工序中晶圓表面不得有臟污、缺陷等。

推出了AWL系列晶圓檢查系統(晶圓搬送機),擁有 AWL046、AWL068、AWL812三種機型,多類配置分別可適用于 4/6 英寸,6/8英寸、8/12英寸的晶圓檢測,適應范圍廣、搭配靈活 。

◆AWL系列可自由設置的檢查模式,充分符合人機工程學設計,操作舒適、簡便,又可稱作晶圓自動搬送機。

◆360°宏觀檢查
AWL系列具有宏觀檢查手臂,可以實現晶面宏觀檢查、晶背宏觀檢查 1 的 360°旋轉,更為容易發現傷痕和微塵。通過操作桿可隨意將晶圓傾斜觀察。晶面最大傾斜角度70°,晶背 1 最大傾斜角度 90°,晶背 2最大傾斜角度 160°,利用旋轉功能、傾斜角度,完全可以目視檢查整個晶圓正反面及邊緣。


 
◆人機工程學設計
LCD 顯示屏,可為操作者提供更直觀的視覺體驗,可清晰的顯示當前檢查項目及次序,調試參數一目了然。手動快速釋放真空載物臺可提高操作者的舒適度和工作效率,充分體現了國產晶圓搬送機的人機工程學設計理念。


◆精密微觀檢查
采用專業半復消色差金相物鏡,可滿足明場、暗場、DIC、偏光等多種觀察方式。全新電動控制系統,可排查 μm 級異常,諸如孔未開出,短路,斷路,沾污,氣泡,殘留等。



應用領域:




主要技術參數:

型號

AWL046

AWL068

AWL812

晶圓尺寸

100mm / 150mm

150mm / 200mm

200mm / 300mm

晶圓最小厚度

150um

150um / 180um

180um / 250um

晶舟類型

Open Cassette

Open Cassette / FOUP、FOSB

檢查模式設置

全檢 / 奇數檢 / 偶數檢 / 手動選擇

晶舟掃描(有 / 無 / 斜片)

晶舟內凸片偵測報警

≥4mm

≥5mm

晶圓預定位(平邊、Notch)

朝向設置(平邊、Notch)

非接觸式定位平邊、Notch,支持0°、90°、180°、270°朝向設置

檢查功能

晶面宏檢(旋轉)、晶背宏檢1(外圈、旋轉)、晶背宏檢2(中心)

晶面宏檢(旋轉)、晶背宏檢1(外圈)、晶背宏檢2(中心)

外觀尺寸(W*D*H)

1450*700*1600mm

1550*700*1600mm

2400*1400*2450mm

電源需求

1P / 220V / 10A

1P / 220V / 16A

真空需求(負壓 / 正壓)

-70KPA ~ -80KPA

-70KPA ~ -80KPA / 0.5MPA

適用顯微鏡

6RC/8RC金相顯微鏡

光學系統

無限遠色差校正光學系統,放大倍率50X-1000X

觀察方式

明場、暗場、偏光、DIC

目鏡

高眼點大視野平場目鏡PL10X22mm,可帶視度可調,可帶測微尺

高眼點大視野平場目鏡PL10X25mm,可帶視度可調,可帶測微尺

觀察頭

鉸鏈三目觀察筒,5-35度傾角可調,正像,瞳距調節范圍:50-76mm,兩檔式分光比,雙目:三目=100:0,0:100

鉸鏈三目觀察筒,0-35度傾角可調,正像,瞳距調節范圍:50-76mm,兩檔式分光比,雙目:三目=100:0,0:100

物鏡

長工作距平場明暗場半復消色差金相物鏡 5X / 10X / 20X / 50X / 100X

轉換器

明暗場6孔電動轉換器(帶DIC插槽)

機架

反射式機架,前置低手位粗微同軸調焦機構,粗調行程35mm,微調精度0.001mm,帶有防止下滑的松緊調節裝置和隨機上限位裝置,內置100-240V寬電壓系統

明暗場反射照明器,帶視場光闌,可變電動孔徑光闌,帶明暗場切換裝置,帶濾色片插槽與偏光裝置插槽,帶12V10W LED光源控制部件

明暗場反射照明器,帶視場光闌,可變電動孔徑光闌,帶明暗場切換裝置,帶濾色片及偏光裝置插槽,帶12V10W LED燈箱

載物臺

6英寸機械移動平臺,低手位X、Y方向同軸調節,晶圓承片臺臺面φ38mm,可360°旋轉,移動行程228mm(X方向)×170mm(Y方向),觀察范圍:170mmX170mm,帶離合器手柄

8英寸機械移動平臺,低手位X、Y方向同軸調節,晶圓承片臺臺面φ60mm,可360°旋轉,移動行程280mm(X方向)×210mm(Y方向),觀察范圍:210mm×210mm,帶離合器手柄

12英寸自動平臺,X、Y、Z、φ多方向調節,晶圓承片臺臺面φ70mm,可360°旋轉,移動行程600mm(X方向)×500mm(Y方向),觀察范圍:310mm×310mm,φ方向可±5度旋轉,各軸運動速度可以高低速切換

其他

濾色片插板、起/檢偏鏡插板、DIC組件、攝像接口、調整平臺、相機、專業晶圓檢查軟件等

 

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